真空机组是指一种能够产生高真空环境的设备。它由真空泵、真空仪表、真空阀门等组成,通过将容器内的气体抽出,使容器内部的压力降低到较低的水平。真空机组广泛应用于各种领域,如电子、冶金、化工、医疗、食品等。它们可以用于材料烘干、真空处理、薄膜沉积、半导体制造等工艺过程中。真空机组的性能和功效直接影响到工艺的效果和产品的质量。
真空系统是由真空泵、真空管道、真空阀门、真空计等组成的系统,用于控制和维持一定的真空度。 配套设备主要包括冷凝器、除尘器、压力容器、冷却塔等,用于处理真空系统中的排放物和废气,系统的正常运行。 真空机组产品的选择取决于具体的应用需求,需要考虑的因素包括真空度要求、抽气速度、耐腐蚀性能、噪音水平等。
2. 涡旋真空泵:适用于中真空范围,具有高抽速、高真空度、耐腐蚀等特点,常用于化工、半导体制造等领域。 3. 分子泵:适用于高真空范围,具有高真空度、高抽速、低蒸汽压等特点,常用于光学薄膜镀膜、电子束焊接等领域。 4. 吸附真空泵:适用于真空范围,利用吸附材料吸附气体实现真空抽取,常用于航天器、核工业等领域。